阳新松机械人从动化股份无限公司（简称“机械
发布日期：2025-10-13 14:56 点击：
包罗实空曲驱机械手、实空拆载机（VPH）、实空预瞄准机（ALIGNER）已通过工艺设备厂客户端验证后随其批量导入FAB厂使用。可普遍办事于硅片出产、已迈入先辈制程产线示范使用阶段；产物包罗大气机械手、实空机械手系列、EFEM、实空传输平台，机能对标国外先辈产物，目前：（1）两轴、三轴实空曲驱机械手产物全面导入终端FAB厂，目前设备前端模块（EFEM）、大气机械手已全面导入市场量产使用。人平易近财讯10月5日电，公司为成长半导体配备营业，
